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TFT液晶ディスプレイは、大面積、高集積、強力な機能、低コスト、柔軟な技術、幅広い応用分野などの特徴を備えています。

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以下では、TFT LCD 画面のさまざまな特性を詳しく紹介します。

(1)大型化:1990年代初頭に第一世代の大型ガラス基板(3000mm×400mm)TFTが生産され、2000年前半にはガラス基板面積が6800mm×880mmに拡大し、最近では950mm×1200mmのガラス基板も生産されている。

(2)高集積化:LCD投影型1.3インチTFTディスプレイチップの解像度はXGAで、数百万画素を誇ります。SXGA(1280x1024)の16.1インチTFTアモルファスシリコンの膜厚はわずか50ナノメートルです。TABONGLASとSYSTEMONGLASSの技術集積度、設備・供給に対する技術要求、そして技術難易度は、従来のLSIよりも高くなっています。

(3)充実した機能:TFT液晶ディスプレイは、もともとマトリックスアドレス選択回路として利用され、液晶ライトバルブの特性を向上させました。高解像度ディスプレイの場合、LCDスクリーンは0~6V(表示電圧範囲:0.2~4V)の電圧を調整し、対象素子を適切に制御することで、高品質で高解像度の表示を実現します。

(4)低コスト:ガラス基板やプラスチック基板は、大規模半導体集積回路のコスト問題を根本的に解決し、大規模半導体集積回路の応用に幅広い応用空間を開拓する。

(5)プロセスの柔軟性:スパッタリング、レーザーアニール技術に加え、CVD(化学気相成長)MCVDは、分子化学気相成長法などの従来の成膜に加え、アモルファス膜、多成分膜、単成分膜を選択できる。シリコン膜だけでなく、I-VI族およびテトラV族半導体膜も作製できる。

一般的な応用分野において、TFT 技術に基づく LCD 液晶ディスプレイ画面は情報化社会の柱となる産業であり、薄膜トランジスタの急速な発展にも利用されています。(TFT-OLED) フラットパネルディスプレイ。


投稿日時: 2022年8月10日